Cung cấp Khóa học
CÔNG NGHỆ VI CHẾ TẠO LINH KIỆN BÁN DẪN, LINH KIỆN VI CƠ ĐIỆN TỬ - VI HỆ THỐNG (MEMS)
(LÝ THUYẾT & THỰC HÀNH)
Khóa học cung cấp cho học viên những lý thuyết cơ bản về linh kiện vi điện tử, vi mạch bán dẫn, các vật liệu bán dẫn, quy trình công nghệ vi chế tạo, phủ màng mỏng, đánh giá tính chất vật liệu và linh kiện... Học viên được thực hành trong phòng sạch và các phòng thí nghiệm của Viện Công nghệ Nano để nắm vững kỹ năng thực hành công nghệ vi chế tạo một linh kiện bán dẫn, linh kiện vi cơ điện tử - vi hệ thống (MEMS) trên đế wafer. Các học viên được thực hành các bước chế tạo trong môi trường phòng sạch dưới sự hướng dẫn của giảng viên, giúp học viên làm quen với điều kiện làm việc trên các thiết bị công nghệ chế tạo linh kiện bán dẫn, hiểu và nắm vững các bước chế tạo trong quy trình chế tạo một linh kiện bán dẫn, vi hệ thống. Sau khóa học, học viên sẽ hiểu được các lý thuyết cơ bản về các công nghệ vi chế tạo linh kiện bán dẫn, hiểu được nguyên lý cơ bản của các phương pháp, quy trình công nghệ vi chế tạo, biết phân tích, lựa chọn được phương pháp, kỹ thuật phù hợp. Học viên có thể vận dụng để thiết kế và đề xuất quy trình chế tạo cho một vi linh kiện cụ thể, từ đó có kỹ năng phân tích, giải thích cho đề xuất các kỹ thuật. |